唐春玖教授作留学回校报告

发布时间:2024-06-26阅读次数:


626日下午,电子信息与工程学院唐春玖教授从葡萄牙阿威罗大学物理系和三纳米研究所访学归来,在求真楼会议室为新能源系老师作了题为“从纳米到多晶金刚石膜的微波等离子体化学气相沉积法快速制备和表征”的学术报告。

在报告会上,唐春玖教授详细介绍了其在访学期间的科研工作,包括访问背景、金刚石膜制备和表征的研究内容和成果以及学习心得。主要研究内容为化学气相沉积(CVD)制备金刚石的一种常用方法。采用一台5千瓦的高功率微波等离子体CVDMPCVD)系统来制备金刚石膜,通过调节各种生长参数比如微波功率、气压、衬底温度、少量氮气和氧气的添加含量等,可以实现快速制备从多晶到纳米晶的各种各样的金刚石膜,为一些新兴领域的应用提供思路和方法。